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Beschichtungen in der Halbleiterindustrie
- Präzisionslösungen für die Chip-Fertigung

Beschichtungen in der Halbleiterindustrie – Präzisionslösungen für die Chip-Fertigung

Die fortlaufende Miniaturisierung und steigende Komplexität moderner Mikroelektronik stellen die Halbleiterindustrie vor große Herausforderungen. In der hochreinen Produktion von Halbleiterbauelementen ist jeder Partikel kritisch – Reinheit, chemische Beständigkeit und Prozesssicherheit haben höchste Priorität.
Adelhelm bietet spezialisierte Beschichtungslösungen für die Halbleiterindustrie, die Anlagenkomponenten zuverlässig vor chemischer Korrosion, elektrischen Effekten und Partikelkontamination schützen.

Hochpräzise Beschichtungslösungen für die Halbleiterfertigung

Von der chemischen Großvolumenverarbeitung über Ätz- und Planarisierungsprozesse bis hin zur Ablufttechnik – unsere Halbleiterindustrie Beschichtungen minimieren Ablagerungen, verhindern leitfähige Rückstände, statische Aufladungen und unerwünschte chemische Reaktionen.
Unsere funktionalen Beschichtungen sichern kontaminationsfreie Prozesse und erlauben Anlagenherstellern maximale Produktionsleistung bei minimalen Ausfallzeiten.
Als Beschichter für FM-zertifizierte Ducts garantieren wir höchste Sicherheitsstandards nach internationalen Normen.

Kontaktieren Sie uns für eine Expertenberatung zur Beschichtung in der Halbleiterindustrie über unser Kontaktformular oder telefonisch unter +49 (0) 7121 98 8 56-0.

Spezialisierte Beschichtungsverfahren für die Halbleiterindustrie

Chemikalienschutz-Beschichtungen:
Unsere Chemikalienschutz-Beschichtungen mit E-CTFE, ETFE und PFA schützen Anlagenkomponenten zuverlässig vor aggressiven Ätzchemikalien und Prozessmedien in der Halbleiterfertigung.

Elektrisch ableitende Beschichtungen:
Antistatische und ableitfähige Beschichtungen verhindern statische Aufladung, reduzieren Staubanziehung und sichern Prozesse in explosionsgefährdeten Bereichen. Ideal für Rohrleitungen, Transportbehälter und Verpackungen in ESD-kritischen Zonen.

Elektrisch isolierende Beschichtungen:
Isolierende Hochleistungspolymere wie Rilsan, Halar® (ECTFE) oder ETFE schützen sensible Prozesse vor Leckströmen und gewährleisten elektrische Stabilität – auch bei hoher Temperatur und Luftfeuchtigkeit.

Anwendungsbereiche für Beschichtungen in der Halbleiterproduktion

Unsere Halbleiterindustrie Beschichtungen kommen in kritischen Produktionsbereichen zum Einsatz:

UPW-Systeme (Ultrapure Water) und Reinstwasserleitungen
Lager- und Prozessbehälter für Säuren und Prozesschemikalien
Rohrleitungssysteme (auch FM-zertifiziert) mit optimalem Korrosionsschutz
Wafer-Bearbeitungsanlagen und Polierscheiben mit Chemikalienschutz
Prozessventile und Armaturen mit PTFE-Beschichtungen
Reinluft- und Ablufttechnik, z. B. Filtergehäuse mit PFA oder ETFE
Messtechnik und Sensortechnik mit elektrisch isolierenden und chemikalienbeständigen Beschichtungen

Fertigungskapazitäten für Halbleiteranwendungen

Über 6 Ofenanlagen
Max. Bauteilgröße: 5 × 3 × 3 m
Max. Einzelgewicht: ca. 8 t
Automatisierte Beschichtungsanlagen
Umfassendes Qualitätswesen und Prozessüberwachung

Forschung & Entwicklung – Zukunft der Halbleiterindustrie Beschichtung

Adelhelm investiert kontinuierlich in neue Beschichtungstechnologien für die Halbleiterbranche.
Schwerpunkte liegen auf:

Miniaturisierten Bauteilgeometrien
PFAS-freien Alternativen
Erhöhten Reinheitsanforderungen
Nachhaltigen Sicherheits- und Umweltstandards

Weitere Informationen zu unseren Beschichtungsverfahren.

Warum Adelhelm für Beschichtungen in der Halbleiterindustrie?

Reinraumkompetenz – Beschichtung unter Reinraumbedingungen
Materialexpertise – E-CTFE (Halar®), ETFE, PFA, FEP
FM-Zertifizierung – Zweimal jährlich auditiert, Best-in-Class in Fire- und Smoke-Index
Prozesskontrolle – Manuelle und automatisierte Beschichtungsverfahren
Qualitätssicherung – ISO 9001:2015 zertifiziert, über 30 Jahre Erfahrung
Skalierbarkeit – Vom Prototyp bis zur Serienbeschichtung
Internationale Präsenz – 9 Standorte, über 300 Mitarbeiter weltweit

Benötigen Sie eine spezialisierte Halbleiterindustrie Beschichtung für Ihre Anwendung?
Kontaktieren Sie unsere Experten für individuelle Beratung und technologische Lösungen.

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