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Beschichtungen in der Halbleiterindustrie
- Präzisionslösungen für die Chip-Fertigung

Herausforderungen in der modernen Halbleiterproduktion

Die fortlaufende Miniaturisierung und zunehmende Komplexität von Chips stellen die Halbleiterindustrie vor immense Herausforderungen. Hochintegrierte Schaltungen werden im Reinraum produziert - Luft, chemische Bäder oder Öfen dürfen keinesfalls verunreinigt sein. Die strengsten Reinheitsanforderungen, der Umgang mit aggressiven Chemikalien und der Bedarf an höheren Produktionsleistungen erfordern hochpräzise Beschichtungslösungen für die Halbleiterproduktion.

Adelhelm Beschichtungen für die Halbleiterindustrie

Von der chemischen Großvolumenverarbeitung über Nassätz- und Planarisierungsprozesse bis hin zur Ablufttechnik – Beschichtungen von Adelhelm reduzieren Ablagerungen, verhindern leitfähige Rückstände, statische Aufladungen und unerwünschte chemische Reaktionen.

Unsere funktionalen Beschichtungen ermöglichen kontaminationsfreie Gase und Chemikalien während der Chip-Herstellung und bieten Anlagenherstellern zuverlässige Lösungen zur Maximierung der Produktionsleistung bei minimalen Ausfallzeiten.
Als Beschichter für FM-zertifizierter Ducts garantieren wir höchste Sicherheitsstandards.

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Kontaktieren Sie uns einfach über unser Kontaktformular oder +49 (0) 7121 98 8 56-0

Spezialisierte Beschichtungsverfahren für die Halbleiterindustrie

Chemikalienschutz-Beschichtungen
Chemikalienschutz mit E-CTFE, ETFE und PFA schützt Ihre Anlagen vor aggressiven Ätzchemikalien und Prozessmedien.

Elektrisch ableitende Beschichtungen
In der Halbleiterfertigung tragen antistatische und ableitfähige Beschichtungen zur Prozesssicherheit bei – insbesondere in explosionsgefährdeten Bereichen oder beim Umgang mit brennbaren Stoffen. Sie verhindern elektrostatische Aufladung, reduzieren Staubanziehung und minimieren elektrische Felder.

Durch gezielte Modifizierung lassen sich viele Polymere elektrisch ableitfähig ausrüsten – ideal für Rohrleitungen, Transportbehälter, Verpackungen und andere Komponenten in ESD-kritischen Zonen.

Elektrisch Isolierende Beschichtungen
In sensiblen Prozessen der Halbleiterfertigung schützen unsere elektrisch isolierenden Beschichtungen zuverlässig vor Leckströmen und ungewollter Stromableitung – auch bei hoher Luftfeuchtigkeit und Temperatur.

Zum Einsatz kommen isolierende Hochleistungspolymere wie Rilsan, Halar® (ECTFE) oder ETFE, die für ihre hohe Spannungsfestigkeit und stabile Performance unter anspruchsvollen Bedingungen bekannt sind.

Anwendungsbereiche in der Halbleiterproduktion

Unsere Beschichtungen für die Halbleiterindustrie werden in folgenden kritischen Bereichen eingesetzt:

UPW-Systeme (Ultrapure Water, Reinstwasser)
Lager- und Prozessbehälter für Prozessmedien (Schwefelsäure, Salzsäure, Salpetersäure uvm.)
Beschichtungen für Rohrleitungssysteme (auch FM-zertifiziert) für optimalen Korrosionsschutz bei geringer Brandlast.
E-CTFE und ETFE-Beschichtungen für höchste Reinheitsanforderungen

Wafer-Bearbeitungsanlagen

Wafer-Polierscheiben mit Chemiekalienschutz
Prozessventile und Armaturen mit PTFE-Beschichtungen
Komponenten in Reinigungsanlagen

Reinlufttechnik

Filtergehäuse mit PFA, ETFE-Beschichtungen, auch ableitfähig

Messtechnik

Füllstands- und Durchflusssensoren für Prozesskontrolle
Elektrisch isolierende und Chemikalienschutz- Beschichtungen für Sensortechnik

Korrosionsschutz-Systeme

Korrosionsschutz-Beschichtungen mit E-CTFE, ETFE und PFA für Langzeitbeständigkeit.

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Kapazitäten für Halbleiteranwendungen

Über 6 Ofenanlagen
Max Bauteil-Maße 5x3x3 m
Max Bauteil Gewicht ca. 8 t
Automatisierte Beschichtungsanlagen
Ausgeprägte Qualitätswesen

Forschung & Entwicklung - Innovation für die Halbleiterbranche

Adelhelm investiert kontinuierlich in innovative Beschichtungstechnologien, um den dynamischen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
Wir entwickeln maßgeschneiderte Lösungen für:

Miniaturisierte Bauteilgeometrien
PFAS-freie Alternativen
Erhöhte Reinheitsanforderungen
Verschärfte Sicherheits- und Umweltstandards

Erfahren Sie mehr über unsere Beschichtungsverfahren

Warum Adelhelm für Beschichtungen in der Halbleiterproduktion?

Reinraumkompetenz - Beschichtung unter Reinraumbedingungen
Materialexpertise - Spezialisiert auf E-CTFE (Halar®), ETFE, PFA, FEP
FM-Zertifizierung – 2x pro Jahr auditiert und "Best in Class" bei Fire spred und smoke development index Sicherheitsstandards für kritische Anwendungen
Prozesskontrolle - Manuelle und automatisierte Beschichtungsverfahren
Qualitätssicherung (ISO 9001:2015 zertifiziert) - Über 30 Jahre Erfahrung in der Halbleiterindustrie
Skalierbarkeit - Von Prototypen bis zur Massenbeschichtung
Internationale Präsenz - 9 Standorte, über 300 Mitarbeiter weltweit

Sie benötigen spezialisierte Beschichtungslösungen für die Halbleiterproduktion? Unsere Experten beraten Sie gerne zu den optimalen Verfahren und Materialien für Ihre Anwendung.

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Weitere Beschichtungslösungen finden Sie unter:
Gleitbeschichtungen | Antihaftbeschichtung | Korrosionsschutz | Alle Verfahren

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